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迅镭激光AOI晶粒检测机亮相ITES深圳工业展

2023-03-28

　　电子元件集成度与精细化程度越来越高，自AOI(automatically optical inspection)自动光学检查机问世以来，AOI自动光学检查技术飞速发展。

　　迅镭激光第三代AOI晶粒检测机针对GPP二极管、GPP可控硅、TVS等晶圆的生产各工序的过程检测，可实现4inch、5inch晶圆的各种缺陷检测，并自动生成MAP，可对接客户MES系统。

　　GPP芯片检测，赋能品控，为芯片制造保驾护航!

　　迅镭激光第三代AOI晶粒检测机采用多个高分辨率、高帧率工业相机对被检测物体进行实时拍摄，利用亚像素级高精度算法检测，精准实现产品正反面缺陷检测。

　　设备检测速度最高可达2200pcs/min。设备采用进口高精度振动盘精准送料，可实现稳定快速精准的分拣。高精度伺服转台和高透光玻璃转盘，确保检测的稳定性。

　　高效半导体芯片检测，让缺陷无所遁形!

　　实现对夹持治具上的待测产品进行直线式扫描检测，克服了传统AOI检测装置的检测范围限制，可以更加全面精确地对产品的表面进行检测，检测精度高，检测效果好。

　　基于矢量分析算法规则，融合逻辑或运算，深度学习等三十多种先进检测算法，自主AI检测算法，可同时检测产品的为外观缺陷及产品尺寸测量，应对各种复杂线路以及半导体零件检测。

　　AOI晶粒检测机通过对芯片进行缺陷检测，在进入后续工序前予以剔除，能够提高产品良率，是半导体芯片质量保证的坚实基础。